华海清科：上海项目已完成投资备案及环评批复

投资者提问：尊敬的董秘您好！关注到公司截至5月末在手订单已达74.81亿元，且离子注入装备订单同比大增116%。请问：1. 当前上海集成电路装备研发制造基地项目的进展如何？预计何时能贡献增量产能以匹配在手订单的消化？2. 除了CMP设备，减薄装备、划切装备等新