盛美上海、盛帷半导体申请反应管炉管设备相关专利，差异化排气口设计平衡反应管各区域排气能力

国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司、盛帷半导体设备（上海）有限公司申请一项名为“反应管及炉管设备”的专利。申请公布号为CN122751168A，申请号为CN202510299294.0，申请公布日期为2026年9月15日，申请日期为20