炉管

盛美上海:中国大陆晶圆制造设备市场需求稳健,高温SPM和炉管等产品有望为增长动能

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盛美上海今日举行2026年半年度业绩说明会,该公司财务负责人LISA YI LU FENG表示,随着中国客户持续扩充产量,公司认为2026年中国大陆晶圆制造设备市场需求稳健,高温SPM和炉管等产品周期有望为公司业务增长带来新的动力。从更长期来看,其表示将持续推

盛美上海、盛帷半导体申请反应管炉管设备相关专利,差异化排气口设计平衡反应管各区域排气能力

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国家知识产权局信息显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司、盛帷半导体设备(上海)有限公司申请一项名为“反应管及炉管设备”的专利。申请公布号为CN122751168A,申请号为CN202510299294.0,申请公布日期为2026年9月15日,申请日期为20